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ゼロからわかる 半導体プロセス技術講座 - フォトリソグラフィー編
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ゼロからわかる 半導体プロセス技術講座 - フォトリソグラフィー編
図解でわかりやすく解説！
Created byKAI M
Last updated 3/2025
Japanese
Japanese [Auto],
What you'll learn
- フォトリソグラフィー技術の全体像が理解できます。
- レジストの塗布方法とレジストの膜厚分布が悪いことでの影響を理解できます。
- プリベークの概要と方法について理解できます。
- 露光の概要とパターンの解像度と焦点深度、アライメントについて理解できます。
- 現像工程の概要とキーとなるパラメータについて理解できます。
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Course content
7 sections • 49 lectures • 1h 11m total length
Requirements
- なし
Description
「ゼロからわかる 半導体プロセス技術講座 - フォトリソグラフィー編」は、半導体製造工程の中でも重要なフォトリソグラフィー技術を、まったくの初心者の方でも無理なく学べるように構成したコースです。基礎となる用語やプロセスの全体像を丁寧に解説しながら、ウェーハ上へのレジスト塗布から露光、ベーク工程を経て現像に至るまでの一連の流れを、図解を用いてわかりやすく説明していきます。
Who this course is for:
- 半導体プロセス技術に興味を持つ初級のプロセスエンジニア
- 半導体に興味がある全ての人